微机电系统（MEMS）技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范

本文件规定了车规级MEMS半导体气体传感器的分类、基本参数、性能要求、试验方法。

本文件适用于采用MEMS工艺制作的车规级MEMS半导体气体传感器的设计、生产和检验。包括车内/外空气质量传感器、车载人体呼出气体传感器、汽车尾气传感器、新能源车动力安全气体传感器（如车用动力电池安全气体传感器和燃料电池车安全气体传感器)等。