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半导体器件生产用扩散炉通用技术条件

标 准 号： SJ 1794-1981
替代情况：
发布单位： 第四机械工业部
起草单位：
发布日期： 1981-10-01
实施日期： 1981-10-01
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更新日期： 2026年08月14日
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内容摘要

本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散和

其它热处理的扩散炉。


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