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本文件规定了深冷处理设备分类和型号、设备组成、技术要求、可靠性要求、热处理工艺要求和工件质量控制要求,描述了工件质量检验方法,规定了生产过程安全卫生和环境保护以及节能的要求。 本文件适用于以液氮为冷源的汽化对流换热式深冷处理设备。