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硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

标准号： GB/T 35306-2017

替代情况：

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司等

发布日期： 2017-12-29

实施日期： 2018-07-01

点击数：

更新日期： 2018年04月08日

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内容摘要

本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。
本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的测定。
　　

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*本标准来自网友大海不是水分享，只作为网友的交流学习之用。

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