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用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程

标准号： GB/T 35309-2017

替代情况：

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司

发布日期： 2017-12-29

实施日期： 2018-07-01

点击数：

更新日期： 2018年06月04日

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内容摘要

本标准规定了用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的代位碳原子浓度、施主杂质浓度和受主杂质浓度的方法。
本标准适用于尺寸在600μm～3000μm的颗粒状多晶硅，其他尺寸的颗粒状多晶硅可参照本标准执行。

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