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蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

标准号： GB/T 30857-2014

替代情况：

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司

发布日期： 2014-07-24

实施日期： 2015-04-01

点击数：

更新日期： 2026年02月15日

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内容摘要

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。

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