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二维材料厚度测量 原子力显微镜法

标 准 号： T/CSTM 00003-2019
替代情况：
发布单位： 中关村材料试验技术联盟
起草单位：
发布日期： 2019-01-03
实施日期： 2019-04-01
点 击 数：
更新日期： 2026年02月13日
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内容摘要

本标准规定了二维材料厚度测量　原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。


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