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本文件规定了半导体分立器件直流参数测试设备的术语和定义、技术要求、测量方法。适用于直流电压输出和直流电压测量范围不超过 0.01V~5000V,直流电流输出和直流电流测量范围不超过1nA~10A,脉冲电流输出和脉冲电流测量范围不超过 10A~1200A 的分立器件测试设备。