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汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

标 准 号: T/NLIA 002-2021
替代情况:
发布单位: 武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟 武汉激光学会
起草单位: 武汉大学,武汉飞恩微电子有限公司,上达电子(深圳)有限公司
发布日期: 2021-04-26
实施日期: 2021-06-01
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更新日期: 2024年10月21日
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下载点数:30点(VIP会员免费)
内容摘要

本文件规定了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。


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