介绍了三氛氛硅的生产工艺、主要生产设备和原料，并利用预先危险分析方法，对三氛氮硅生产中存在的主要的潜在危险，如火灾、爆炸、化学中毒等进行事故原因分析，有针对性地提出防范措施。