随着科学技术的突飞猛进，半导体制造技术面临日新月异的变化，对气体的需求无论是在种类上还是品质上都不断提高。晶圆制造厂被国外列为“极高风险”的行业，因为在其制造过程中要使用到大量的高毒性、腐蚀性或易燃易爆性等工艺气体。特殊气体品质及安全管理问题日显突出。因此本论文以N。0及Sill。两个气体供应系统为基础，分别进行了气体供应系统品质及安全问题的研究。
本文首先简单介绍了本研究工作的意义、‘现状、工作内容。