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电子工业用气体 三氯化硼

标 准 号： GB/T 17874-2010
替代情况： 替代 GB/T 17874-1999
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位： 西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
发布日期： 2011-04-01
实施日期： 2011-05-01
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更新日期： 2012年10月15日
下载地址：点击这里 1.12MB
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内容摘要

      本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 
      本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

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