硅多晶和锗单位产品能源消耗限额

本文件规定了硅多晶和锗单位产品能源消耗(以下简称“能耗”)限额等级、技术要求、统计范围和计算方法。
本文件适用于以三氯氢硅法或硅烷流化床法生产光伏用硅多晶(以下简称“硅多晶”)的企业,以锗精矿、再生锗原料为原料生产高纯四氯化锗、高纯二氧化锗、区熔锗锭、锗单晶的企业进行能耗的计算、考核,以及对新建、改建和扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于生产半导体用电子级硅多晶、区熔级硅多晶的企业的能耗控制。