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热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标 准 号： GB/T 24577-2009
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
发布日期： 2009-10-30
实施日期： 2010-06-01
点 击 数：
更新日期： 2025年02月26日
内容摘要

本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。 

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