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硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

标 准 号： GB/T 13388-2009
替代情况： 替代 GB/T 13388-1992
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 有研半导体材料股份有限公司
发布日期： 2009-10-30
实施日期： 2010-06-01
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更新日期： 2025年02月26日
内容摘要

本标准规定了α角的测量方法，α角为垂直于圆型硅片基准参考平面的晶向与硅片表面参考面间角。
本标准适用于硅片的参考面长度范围应符合GB/T 12964和GB/T 12965中的规定，且硅片角度偏离应在-5°到+5°范围之内。

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