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硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

标 准 号: GB/T 13387-2009
替代情况: 替代 GB/T 13387-1992
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位: 有研半导体材料股份有限公司
发布日期: 2009-10-30
实施日期: 2010-06-01
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更新日期: 2025年03月12日
内容摘要

本标准用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm 的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变。
本标准适用于仲裁测量,当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时,本标准也可用于常规验收测量。 

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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