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硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

标 准 号： GB/T 32814-2016
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 西北工业大学、中机生产力促进中心
发布日期： 2016-08-29
实施日期： 2017-03-01
点 击 数：
更新日期： 2025年01月15日
内容摘要

本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

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